測厚儀（thickness gauge）是用來測量材料及物體厚度的儀表。在工業(yè)生產(chǎn)中常常用來連續(xù)或者抽樣測量產(chǎn)品的厚度（如鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料）。這類儀表中有利用x射線、α射線、β射線、γ射線穿透特性的放射性厚度計(jì)；有利用超聲波頻率變化的超聲波厚度計(jì)；有利用渦流原理的電渦流厚度計(jì)；還有利用機(jī)械接觸式測量原理的測厚儀等等。

本文僅介紹菲希爾（fischer）所生產(chǎn)的X射線測厚儀的基本信息簡單介紹：

一、X射線測厚儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)介紹：

比例接收器：它是一種以氣體做為工作介質(zhì)，輸出信號的脈沖幅度與入射輻射的能量成正的探測器，可以對單個(gè)粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)。通常會采用圓筒形的結(jié)構(gòu)，中間是一根細(xì)絲，與電源的正極相連，圓筒外殼與負(fù)極相連，中間行程了一個(gè)非均勻的電場，并且會充有惰性氣體。

二、X射線測厚儀基本原理：

膜厚儀也教X射線測厚儀，它的原理是粒子入射后與筒內(nèi)氣體的原子發(fā)生碰撞，使其電離。在電場作用下，電子向中心陽極絲運(yùn)動，正離子則以比電子慢得多的速度向陰極筒壁運(yùn)動。電子在運(yùn)動過程中受到電場的加速，促使更多的原子電離，這些原子電離產(chǎn)生的次級電子又會加速導(dǎo)致更多的次級電離。電子越接近陽極，電場越強(qiáng)，電離的可能性越大，這種電離不斷增值的過程叫做電子雪崩過程。終能夠在陽極絲得到較大的脈沖幅度。在計(jì)數(shù)管的工作電壓一定時(shí)，正比計(jì)數(shù)管所產(chǎn)生的電脈沖值與被吸收的光子能量呈正比。來進(jìn)行定性和定量分析，精度可以達(dá)到0.01μm。

三、電腦軟件操作

①開關(guān)機(jī)的順序，開機(jī)時(shí)先開電源，再開高壓鑰匙，后開電腦軟件；關(guān)機(jī)時(shí)先關(guān)軟件，其次關(guān)高壓鑰匙，后則關(guān)閉電源。

②預(yù)熱30分鐘后進(jìn)行測量基準(zhǔn)，建議每天開機(jī)后都需要做一次

③進(jìn)行測量：產(chǎn)品程式中選用對應(yīng)的程式進(jìn)行測試，樣品放置在視頻窗口十字中央，調(diào)整位置焦距清晰

④測試完成后打印報(bào)表，對應(yīng)的參數(shù)可以進(jìn)行修改

⑤校正產(chǎn)品程式：首先確定是否需要校準(zhǔn)，可以通過測量校準(zhǔn)片來進(jìn)行檢驗(yàn)，測量數(shù)據(jù)平局值誤差與校準(zhǔn)片之差不符合校準(zhǔn)片的精度，可以進(jìn)行“歸一化”操作，如果歸一化之后，依然不符合校準(zhǔn)片的精度，這時(shí)應(yīng)該進(jìn)行校正。校正時(shí)選擇需要校正的程式，輸入校正片的標(biāo)準(zhǔn)值，按照指示放置相應(yīng)的材料和校正片進(jìn)行測量。